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APC200是GPC3000的升級版，壓力流量控制器基本為電容壓力計供電（±15VDC），接收并顯示來自電容壓力計的壓力信號，連接節(jié)流閥，通過PID或自整定功能控制壓力. 它是一個控制裝置。其中，如果使用自整定功能，則通過檢測流入腔室的氣體量、泵速、閥位引起的真空壓力變化等重要參數(shù)來獲取壓力控制因素。如果用戶使用此功能來控制壓力，可以更快地達到所需壓力。內(nèi)置兩個過程限位繼電器，幫助用戶設(shè)備過程。

• APC200 有一個PCB 卡，可以選擇至多連接4 個MFC，每個PCB 包含2 個通道（連接2 個MFC）。

• APC200 的設(shè)計非常方便且易于通過本地（前面板）、I/O 或 RS-232 / RS-485 遠程控制。

• 壓力輸入信號：標準：0-10 VDC

• 所需輸入功率：90-132 或 180-264 VAC，50/60 赫茲

• 控制器重復性：±0.1% FS

• 環(huán)境操作溫度：150℃ - 450℃

• 輸出功率：±15 VDC  ±5% @ 1.5 安培

• 模擬輸出信號：0-10 VDC 用于 0-100% 閥門位置和 0-10 VDC 用于 1-100%，F(xiàn)S 壓力

• 尺寸：1/2-機架包裝：88mm H x 241mm W x 225 D